scia Clean 800 - высококачественная чистка и проверка качества образцов до 800 мм в диаметре и высотой до 500 мм

scia Clean 800

Система scia Clean 800 используется для сухой чистки трехмерных изделий массой до 500 кг. Конструкция и функциональные средства камеры обеспечивают очень хорошее базовое давление и позволяют количественно определять даже небольшие остаточные загрязнения на образце с помощью масс-спектроскопического измерения.

ОСОБЕННОСТИ И ПРЕИМУЩЕСТВА

  • Низкое базовое давление и быстрая откачка вакуумной камеры, благодаря прогреваемой камере с электрополированной поверхностью
  • Отдельный нагрев изделия для улучшения десорбции
  • Проверка остаточного загрязнения посредством высокочувствительной масс-спектроскопии
  • Опционально источник плазмы для улучшенной чистки в водородной плазме
  • Наборы настроек для повторяемых диапазонов температур и полностью автоматизированных циклов чистки
  • Подъемный механизм для загрузки крупных и тяжелых образцов

СФЕРЫ ПРИМЕНЕНИЯ

  • Сверхчистая очистка рентгеновской оптики
  • Чистка компонентов для ускорителей
  • Исследование дегазации сложных вакуумных агрегатов

P_scia-Clean-800

ПРИНЦИП ДЕЙСТВИЯ

  • Сухая чистка
    • Удаление загрязнений с трехмерных изделий посредством использования сверхглубокого вакуума
       (вакуумная десорбция)
    • Дальнейший процесс очистки с дополнительным нагревом изделия и / или камеры (термодесорбция) и применением плазменной обработки

Технические характеристики

Размер камеры Ø 800 мм,
высота 500 мм,
вес 500 кг.
Нагреватель подложки Радиационный нагреватель
(4,5 кВт) до 250 °C
Камера нагрева и охлаждения Нагрев на водной основе
под давлением до 150 ° C
и охлаждение (8 кВт)
Источник плазмы сточник плазмы ICP (PI400), макс. 2,5 кВт (опционально)
Базовое давление < 5 х 10-9 мбар
Контроль качества Масс-спектрометр для измерения дегазации
Размеры системы (ШхГхВ), м 1.30x2.50x1.40
(без электрической стойки и насосов)
Конфигурация Однокамерная с крышкой сверху, загрузочный кран для больших и тяжелых подложек (опционально)
Интерфейс ПО SECS II / GEM, OPC

000pdf Скачать брошюру "scia Clean 800" (En)

Цена
По запросу