scia Multi 680

csm_scia_Multi_680_6c1b8021a1scia Multi 680 предназначена для осаждения многослойных покрытий на подложках диаметром до 650 мм и весом 50 кг. Обычно применяется для градиентных многослойных покрытий зеркал для слабых рентгеновских лучей и просветляющих покрытий в задачах с УФ и рентгеновского излучения.

scia Multi 680 использует 6 радиально расположенных магнетронов, каждый из которых установлен в отдельном корпусе для индивидуальной подачи газа с заданным профилем эмиссии частиц. Подложка перемещается от позиции к позиции по круговой траектории лицевой поверхностью вниз поворотным диском. Сам подложкодержатель имеет функцию вращения. Каждый поворот создает один период многослойного пакета. Предварительное вычисление профиля вращения позволяет компенсировать индивидуальные профили напыления отдельными магнетронами, получать плёнки с заданным градиентом вдоль оси вращения.

scia Multi 680 printsip vrashenia

Принцип вращения подложки scia Multi 680

Primer mnogosloynogo paketa

Пример многослойного пакета для отражения слабого рентгеновского излучения

Особенности

* Манипулятор для переноса подложек из шлюза в рабочую камеру с 2-мя независимыми позициями
* Подложка располагается "лицом вниз"для минимизации загрязнений
* Высокоточные гомогенные или градиентные плёнки на искривлённых подложках с комбинированной скоростью осевого и окружного вращения
* Произвольный порядок перемещения подложек между магнетронами
* Регулируемое расстояние между подложкой и магнетроном

Применение

* Многослойные покрытия для:
    - Отражения слабого рентеновского излучения
    - Отражения рентгеновских лучей (аналитике)
* Многослойные покрытия для просветления УФ-оптики

Технические характеристики

Диаметр подложки До 650 мм; масса до 50 кг
Источник напыления До 6 прямоугольных 24-дюймовых магнетрона напыления
Режимы напыления

Постоянный ток, РЧ, импульсный режим

Типичные скорости травления Cr: 45 нм/мин; Si: 22 нм/мин; Ti: 22 нм/мин
Неоднородность

< 0.1 % на 300 мм
< 0.5 % на 450 мм

Базовое давление < 1 х 10-8 мбар
Размеры системы (Ш х Г х В) 7.90 м x 4.40 м x 3.50 м
(без электрической стойки и насосов)
Конфигурация 1 ячейка с 1 камерой покрытия
Интерфейс ПО SECS II / GEM

shema scia Multi 680 

000pdf Скачать брошюру "scia Multi 680" (rus. - .pdf)