Scia Cube 750 для реактивного ионного травления (RIE) и плазмохимического осаждения из газовой фазы (PECVD)

scia-Cube-750scia Cube 750 предназначена для проведения плазменных процессов и обработки подложек большой площади с размерами до 750х750 мм. Типичными применениями являются процессы травления кислородом или галогенами для структурирования металлов и осаждения диэлектрических пленок для оптических фильтров и антибликовых покрытий.

Scia Cube 750 сочетает массив источников микроволнового излучения для возбуждения плазмы и независимое РЧ смещение подложки. Перемещение подложек в рабочую камеру обеспечивается автоматической системой шлюзовой загрузки.

 

Особенности

  • Плазма с высокой плотностью на большой площади
  • Независимое возбуждение плазмы и смещение РЧ.
  • Ориентация подложек лицевой стороной вверх или лицевой стороной вниз.
  • Процесс очистки камеры на месте

Принцип работы scia Cube 750

Принцип работы scia Cube 750

Применение

  • PECVD Поцессы

          - Выращивание нано-кристаллических алмазов и углеродных нанотрубок
          - Диэлектрические пленки (SiO2, Si3N4, a:Si, DLC) для оптических фильтров и антибликовых покрытий.
          - ZnO как прозрачный проводящий оксид (TCO) для оптоэлектроники

  • RIE Процессы

         - Структурирование хрома (Cl2)
         - Структурирование кварцевого стекла (CF4/O2)
         - Озоление фоторезиста (O2)

scia Cube 750 primer primenenia

Технические параметры

Размеры подложек до 750 мм x 750 мм
Подоложкодержатель водяное охлаждение, РЧ смещение
Температура подложек

Альтернативно криоохлаждение до -10 ° C
или нагрев до 850 ° C максимум

Источник плазмы

Линейный микроволновый источник ECR- source PL1300
и/или РЧ с паралельным расположением пластины

Типичная скорость удаления Cr > 5 нм/мин
Источник питания

СВЧ-мощность: макс. 48 кВт
РЧ мощность: макс. 3

базовый вакуум < 5 х 10-6 мбар
Размеры системы (Ш х Г х В) 3.70 м x 3.40 м x 2.20 м
(без электрической стойки и насосов)
Конфигурация 1 рабочая камера, 1 система загрузки, 1 шлюз
Интерфейс ПО SECS II / GEM

plan scia Cube 750

000pdf Скачать брошюру "Scia Cube 750" (rus. - .pdf)