Вакуумные установки напыления Pfeiffer Vacuum
Основываясь на многолетнем опыте и технических знаниях, компания Pfeiffer Vacuum предлагает обширную линейку высоковакуумных систем для различных сфер применения, таких как:
 |
• Оптические устройства; • Микроэлектроника; • Устройства отображения; • Фотоэлектроника; • Медицинская техника. |
Технические особенности
• Доступны различные типоразмеры в зависимости от применения и производительности;
• Встроенная гибкость в результате применения широкого диапазона стандартных технологических дополнительных приспособлений;
• Надежное исполнение для промышленного применения;
• Низкие эксплуатационные расходы;
• Совместимость с функцией «чистая комната»;
• Простота обслуживания;
• Возможность модернизации при помощи дополнительных приспособлений.
Вакуумные технологии:
• Вакуумные камеры выполнены из нержавеющей стали;
• Объем камер от 35 до 1300 л (специальные камеры изготавливаются по запросу);
• Доступны различные насосные станции (турбо-, крио- или масляные диффузионные насосы);
• Вакуумные камеры охлаждаются и нагреваются;
• Предельный вакуум < 5*10-7 мбар;
• Общая негерметичность < 1*10-5 мбар*л/с;
|
Испарение Компания Pfeiffer Vacuum предлагает высоковакуумные системы практически для любого применения в области исследований и разработок, а также для производства посредством гибких комбинаций различных испарителей и богатого выбора стандартных технологических дополнительных приспособлений. Примеры применения: |
|
Распыление
В дополнение к высоковакуумным системам вакуумного испарения компания Pfeiffer Vacuum также предлагает однокамерные системы распыления с или без вакуумного шлюза. Эти системы основаны на вакуумных камерах серий Classic 250 - 570. Они доступны со стандартными типоразмерами, а также подходят для процесса распыления (версии SP).
Примеры слоев:
• Металлические слои (Au, Cu, Al, Cr, ...);
• Диэлектрические слои (SiO2, Al2O3, ...);
• Прозрачные, проводящие слои (ITO);
• Магнитные слои;
• Осаждение сплавов (со-распыление)
Источники
• Резистивные испарители (2 - 6 кВА);
• Электронно-лучевые испарители (3 - 15 кВт);
• С одно- или многокарманной головкой;
• Ионно-лучевые источники (IAD);
• катоды постоянного тока с ВЧ распылением (0,3 - 10 кВт);
• Блоки тлеющего разряда.
Система управления
• ПЛК и промышленный ПК с визуализацией под Windows;
• Полностью автоматическое управление процессом;
• Простое управление параметрами;
• Подробная регистрация данных (аварийный сигнал и архивирование процесса + трендинг);
• Встроенное руководство.
 |
 |
|
 |
||
| Вакуумная камера* | Classic 250 | Classic 500 | Classic 500 SP | Classic 500 L | |
| Полезный объем (приблиз.) | л | 35 | 150 | 120 | 225 |
| Внутренний диаметр | мм | 290 | 500 | 600 | 500 |
| Внутренняя высота | мм | 470 | 575 | 350 | 900 |
| Размер двери, Ш x В | мм | 290 x 470 | 500 x 575 | 500 x 350 | 500 x 900 |
| Предельный вакуум | мбар | < 5*10-7 | < 1*10-5 | < 1*10-5 | < 1*10-5 |
| Общая негерметичность | Мбар л/с | < 1*10-5 | < 5*10-7 | < 5*10-7 | < 5*10-7 |
| Откачная система ** | |||||
| Турбомолекулярный насос HiPace 300 | л/с | 210 | - | - | - |
| Турбомолекулярный насос HiPace 700 | л/с | - | 500 | 500 | - |
| Турбомолекулярный насос HiPace 1500 | л/с | - | - | - | 1200 |
| Форвакуумный насос DUO 5 | м3/ч | 5 | - | - | - |
| Форвакуумный насос DUO 20 | м3/ч | - | 20 | 20 | 20 |
| Вакуумметр PKR 251 | Полный диапазон измерений | Полный диапазон измерений | Полный диапазон измерений | Полный диапазон измерений | |
| Типоразмеры | |||||
| Занимаемая площадь (приблиз.) | м2 | 1 | 1.5 | 1.5 | 1.5 |
| Д x Ш x В (приблиз.) | м | 1.2 x 0.8 x 1.7 | 1.4 x 1.1 x 1.9 | 1.4 x 1.1 x 1.9 | 1.4 x 1.1 x 1.9 |
| Вес основной системы (приблиз.) | кг | 300 | 550/600 | 550/600 | 600 |
| Температура окружающей среды (макс.) | °C | 40 | 40 | 40 | 40 |
 |
|
 |
 |
||
| Вакуумная камера* | Classic 570 | Classic 570 SP | Classic 570 L | Classic 590 | |
| Полезный объем (приблиз.) | л | 225 | 310 | 200 | 410 |
| Внутренний диаметр | мм | 500 | 740 | 740 | 740 |
| Внутренняя высота | мм | 900 | 680 | 440 | 915 |
| Размер двери, Ш x В | мм | 500 x 900 | 740 x 680 | 740 x 440 | 740 x 915 |
| Предельный вакуум | мбар | < 1*10-5 | < 1*10-5 | < 1*10-5 | < 1*10-5 |
| Общая негерметичность | Мбар л/с | < 5*10-7 | < 5*10-7 | < 5*10-7 | < 5*10-7 |
| Откачная система ** | |||||
| Турбомолекулярный насос HiPace 1500 | л/с | 1200 | - | - | - |
| Турбомолекулярный насос HiPace 2300 | л/с | - | 1900 | 1900 | 1900 |
| Форвакуумный насос DUO 20 | м3/ч | 20 | - | - | - |
| Форвакуумный насос DUO 35 | м3/ч | - | 32 | 32 | - |
| Форвакуумный насос DUO 65 | м3/ч | - | - | - | 62 |
| Вакуумметр PKR 251 | Полный диапазон измерений | Полный диапазон измерений | Полный диапазон измерений | Полный диапазон измерений | |
| Типоразмеры | |||||
| Занимаемая площадь (приблиз.) | м2 | 1.5 | 2.5 | 2.5 | 2.5 |
| Д x Ш x В (приблиз.) | м | 1.4 x 1.1 x 1.9 | 1.6 x 1.6 x 1.9 | 1.6 x 1.6 x 1.9 | 1.6 x 1.6 x 2.1 |
| Вес основной системы (приблиз.) | кг | 600 | 900/950 | 900/950 | 1200 |
| Температура окружающей среды (макс.) | °C | 40 | 40 | 40 |