Установки плазмохимического осаждения из газовой фазы (PECVD/RIE)

Компания scia Systems производит системы нескольких видов, которые могут использоваться, как для плазмохимического напыления из газовой фазы (PECVD), так и для реактивного ионного травления (RIE) или для обеих технологий. Данные системы могут поставляться в различной конфигурации с различными решениями в отношении площади обработки или обработки материалов.

scia Cube для плазмохимического напыления из газовой фазы (PECVD) и для реактивного ионного травления (RIE)

scia_Cube_750Процесс PECVD распыляет пленку из газовой фазы в твердое состояние на подложку с использованием соответствующих химических реакций. РЧ напряжение между двумя электродами создает плазму реактивных газов. При RIE материал на поверхности подложки подвергается физическому и химическому травлению посредством воздействия реактивных газов и ионной бомбардировки.
Комбинация обеих процессов позволяет осуществлять напыление (PECVD) или удаление (RIE) материалов на подложках в рамках одной системы.
scia Cube - это плазменная система большой площади, которая комбинирует производство плазмы посредством модуля микроволновых источников и распыление на асимметричном переменном токе на уровне подложки. Данная система используется для обработки подложек площадью до 750 мм х 750 мм.

Область применения Процесс PECVD
• Выращивание нанокристаллических алмазов и углеродных нанотрубок;
• Диэлектрические пленки ((SiO2, Si3N4, a:Si, DLC) для оптических фильтров и отражающих покрытий;
• ZnO в качестве прозрачного проводящего оксида (TCO) для оптоэлектроники.

Процесс RIE
• Структурирование хрома (Cl2);
• Структурирование кварца/плавленого кварца (CF4 / O2);
• Шлифование фоторезисторного слоя (О2).

scia Batch 350 для плазмохимического напыления из газовой фазы (PECVD)

scia_Batch_350Система scia Batch 350 использует два противоположных РЧ электрода и вращение каждой подложки для равномерного нанесения покрытия со всех сторон. Система позволяет периодически распылять материал на множественные 3D-подложки.

Область применения
• Биосовместимые пленки для медицинской промышленности (например стенды и электрокардиостимуляторы).