Установки вакуумного напыления одно и многослойных покрытий (PVD)

Технология физического распыления из газовой фазы (PVD) – это общий термин для большого количества процессов нанесения покрытий посредством конденсации материала в газовой фазе на необходимую поверхность. Особым видом является осаждение распылением, при котором материал распыляется ионами из цели, а затем осаждается на подложку. 

scia Magna 200 для магнетронного распыления

ProductLarge21439Система scia Magna 200 использует двойной кольцевой магнетронный источник (DRM 400) Fraunhofer FEP. Данная уникальная двойная кольцевая архитектура позволяет выполнять осаждение одновременно с большой скоростью и высокой степенью однородности. Система предлагается с загрузочным шлюзом под одну полупроводниковую пластину или автоматическим манипуляционным роботом при комплектной поставке.

Область применения
• Пленки температурной компенсации для устройство поверхностных оптических волн (SAW)(SiO2);
• Пьезоэлектронные пленки с отличной кристаллической ориентацией (AIN);
• Оптические покрытия (Si3N4, SiO2, HfO2, Ta2O5, Al2O3);
• Электроизоляционные пленки (Si3N4, SiO2, Al2O3).

scia Multi 680 для многослойного осаждения с помощью магнетронного распыления

scia Multi 680В процессе нанесения многослойной пленки используется перемещение подложки относительно нескольких магнетронов распыления. Есть возможность нанесения сложных многослойных пленок без нарушения вакуума.
Система scia Multi 680 использует до шести различных магнетронов распыления и особый принцип вращения подложки для достижения сверх точный многослойных пленок. Система использует манипуляционные узлы на основе носителя с загрузочным шлюзом и двумя независимыми положениями подложки.
scia Multi 680

Область применения
• Многослойные пленки для:
  - Мягких зеркал, отражающих рентгеновское излучение;
  - Зеркал, отражающих рентгеновское излучение, для пакетной линии и аналитических применений;
• Многослойных покрытий для передающей УФ оптики.